Ko te whakawhanaketanga o nga awheawhe kore-puehu e hono tata ana ki te ahumahi hou me te hangarau hou. I tenei wa, he mea noa me te pakeke ki nga tono i roto i te koiora, te rongoa me te hauora, te kai me te matū o ia ra, te hiko hiko, te kaha, nga taputapu tika me etahi atu ahumahi.
Te karaehe mo te horoi o te rangi (te karaehe mo te horoi o te hau): He paerewa karaehe ka whakarōpūhia i runga i te tepe kukū morahi o nga matūriki nui ake, e rite ana ranei ki te rahi o te matūriki e whakaarohia ana i roto i te waahanga o te hau i roto i te waahi ma. Ka whakahaere a Haina i nga whakamatautau me te whakaae ki nga awheawhe kore-puehu e ai ki nga ahuatanga kore, pateko me te hihiri, i runga i te "GB 50073-2013 Clean Factory Design Code" me te "GB 50591-2010 Clean Room Construction and Acceptance Code".
Ko te ma me te pumau tonu o te whakahaere parahanga nga paerewa matua mo te tirotiro i te kounga o nga awheawhe kore-puehu. Kua wehea tenei paerewa ki etahi taumata i runga i te taiao o te rohe, te ma me etahi atu mea. Ko nga mea e whakamahia ana ko nga paerewa o te ao me nga paerewa ahumahi a-rohe.
Ko te paerewa ISO 14644-1 o te ao—te whakarōpūtanga o te maa o te hau
| | | |||||
| | | | | | | |
| | | | ||||
| | | | | | ||
| | | | | | | |
| | | | | | | |
| | | | | | | |
| | | | | | | |
| | | | | |||
| | | | | |||
| | | | | |||
| | ||||||
Te ripanga whakataurite tata o nga taumata ma i nga whenua rereke
Takitahi / M ≥0.5um | | | | | | | |
| | | | | | | | |
| | | | | | | | |
| | | | | | | | |
| | | | | | | | |
| | | | | | | | |
| | | | | | | | |
| | | | | | | | |
| | | | | | | | |
| | | | | | | | |
| | | | | | | | |
| | | | | | | | |
| | | | | | | | |
| | | | | | | | |
| | | | | | | | |
| | | | | | | | |
Awheawhe kore-puehu (ruma ma) te whakaahuatanga karaehe
Ko te tuatahi ko te tauira whakamarama taumata e whai ake nei:
Te akomanga X (i te Y μm )
I roto ia ratou, Ko te tikanga tenei ka whakatauhia e te kaiwhakamahi me tutuki nga matūriki o te ruma ma ki nga rohe o tenei tohu i enei rahi matūriki. Ka taea e tenei te whakaiti i nga tautohetohe. Anei etahi tauira:
Akomanga 1 (0.1μm, 0.2μm, 0.5μm)
Karaehe 100(0.2μm, 0.5μm)
Karaehe 100(0.1μm, 0.2μm, 0.5μm)
I roto i nga Karaehe 100 (M 3.5) me te Nui ake (Te Akomanga 100, 1000, 10000….), i te nuinga o te waa ka nui te rahi o te matūriki. I roto i nga Karaehe Iti iho i te 100 (M3.5) (Te Akomanga 10, 1….), me titiro ki etahi atu rahinga matūriki.
Ko te pito tuarua ko te tohu i te mana o te ruma ma, hei tauira:
Te akomanga X (i te Y μm) ，I te okiokinga
Kei te tino mohio te kaiwhakarato me tirotirohia te ruma ma i roto i te ahua At-rest.
Ko te pito tuatoru ko te whakarite i te rohe o runga o te kukū matūriki. Ko te tikanga, he tino ma te rūma ma i te wa i hangaia ai, a he uaua ki te whakamatautau i te kaha o te whakahaere matūriki. I tenei wa, ka taea e koe te whakaheke noa i te rohe o runga o te whakaaetanga, hei tauira:
Karaehe 10000 (0.3 μm <= 10000), I hangaia
Karaehe 10000 (0.5 μm <= 1000), As-built
Ko te kaupapa o tenei ko te whakarite kia tika tonu nga mana whakahaere matūriki i te rūma ma i te wa i roto i te ahua Whakahaere.
Taiwhanga take ruma horoi
Te akomanga 100 te waahi ma
Ko nga ruma horoi Semiconductor (nga papa teitei) ka whakamahia i nga waahi o te akomanga 100 me te akomanga 1,000.
Rūma maa tikanga (waahi ma: Akomanga 10,000 ki te akomanga 100,000)
Ko nga korero i runga ake nei etahi korero mo nga ruma ma. Mena kei a koe etahi atu patai mo nga ruma ma me nga whiriwhiringa hau, ka taea e koe te korero mo te kore utu.
Te wa tuku: Apr-28-2024